天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司“电源引入板及半导体工艺设备”专利获授权，授权公告日为7月14日，授权公告号为CN219350153U。

北方华创“电源引入板及半导体工艺设备”专利获授权

天眼查显示，北京北方华创微电子装备有限公司“电源引入板及半导体工艺设备”专利获授权，授权公告日为7月14日，授权公告号为CN219350153U。

图片来源：天眼查

专利摘要显示，本申请涉及半导体工艺技术领域，具体而言，涉及一种电源引入板及半导体工艺设备。该电源引入板具有电流引入部和电流调节缝；电流引入部用于外接电源，以馈入射频；电流调节缝设置于电源引入板的边缘与电流引入部之间部位，且沿电源引入板的厚度方向，电流调节缝贯通于电源引入板的两端面，半导体工艺设备包括上述电源引入板。采用本申请所提供的技术方案，能够改变电源引入板及与之对应的靶材上电流的分布，以补偿高频、甚高频射频电流的不对称性，使薄膜偏厚的部位变薄，进而改善溅射薄膜厚度偏心的问题，优化薄膜均匀性。

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